Датчик потоку, посилений, 0 - 1 сл/хв

Мікромостовий витратомір повітря працює за принципом теплопередачі. Повітряна маса направляється по поверхні вимірювальних елементів. Вихідна напруга змінюється пропорційно масі повітря або потоку інших газів через вхідний та вихідний отвори корпусу. Спеціально розроблений корпус направляє та спрямовує повітряний потік по мікроструктурованому сенсорному елементу. Механічна конструкція корпусу дозволяє легко монтувати його на друкованих платах.
Мікромістковий витратомір повітря має унікальний кремнієвий чіп з високорозвиненою технологією мікроструктури. Він має теплоізольовану тонкоплівкову місткову структуру, що складається з нагрівача та елементів для вимірювання температури. Мостова структура забезпечує чутливу та швидку реакцію на потоки повітря та інші потоки на чіпі. Подвійні вимірювальні елементи, розташовані по обидва боки центрального нагрівального елемента, вказують напрямок потоку, а також швидкість потоку. Лазерно узгоджені товстоплівкові та тонкоплівкові резистори забезпечують стабільну взаємозамінність між пристроями.
Мікромостовий витратомір повітря має термочутливі резистори, розташовані в тонкому шарі нітриду кремнію. Вони розташовані у вигляді двох містків над витравленою порожниною в кремнії. Чіп розташований у точно підібраному каналі повітряного потоку, що забезпечує повторювану реакцію повітряного потоку. Високоефективна теплоізоляція нагрівальних та сенсорних резисторів досягається шляхом травлення порожнини під містками вимірювання повітряного потоку. Малий розмір та теплоізоляція мікромостового витратоміра повітря забезпечують надзвичайно швидку реакцію та високу чутливість до потоків.
Два мости Уїтстона керують вимірюванням витрати повітря – один забезпечує замкнутий контур керування нагріванням, а інший містить подвійні сенсорні елементи. Схема керування нагріванням мінімізує операції перемикання, спричинені змінами температури навколишнього середовища, оскільки один вихід пропорційний масовій витраті. Контур нагрівання підтримує температуру нагрівання (160°C) постійно вище температури навколишнього середовища, що визначається терморезистором на мікросхемі. Раціометричний вихідний напруга пристрою відповідає диференціальній напрузі в схемі моста Уїтстона.
Мікромостові витратоміри повітря серії AWM не призначені для виявлення потоків рідини і будуть пошкоджені рідиною, що протікає через датчик.

- Точна мікрообробка кремнію
- Чутливий до низьких потоків повітря - від 0,1 куб. см до 20 шк.л/хв
- Регульований для використання з більшими потоками повітря
- Швидкий час відгуку
- Аналоговий вихід
- Низьке енергоспоживання
- Повторювана відповідь
- Взаємозамінність лазерної обробки
- Точне та економічно ефективне виявлення потоку повітря
- Вбудовані роз'єми для друкованих плат
- Стандартні центральні точки кріплення 2,54 мм (0,100 дюйма)
- Точне вимірювання низького тиску 0,001 - 4,0 дюйма H2O (від 0,003 до 10 мбар)

Технічні дані:
Формування сигналу: Посилення
Діапазон потоку/тиску: +1000 куб.см (1,0 SLPM)
Вихідна напруга в точці калібрування: 5,0 В постійного струму ±0,15 В постійного струму при 1000 sccm (1,0 SLPM)
Тип з'єднання: Збірна трубка
Зміщення нуля для змін температури: ±0,025 В постійного струму
Зсув виходу для змін температури: від -5% до 6% від виміряного значення
Зміна швидкості потоку: 5,0 SLPM/с
Повторюваність: ±0,50% від діапазону вимірювання
Нульове зміщення: від 1 В постійного струму до 0,05 В постійного струму
Час відгуку: 1 мс типово/3 мс макс.
Напруга живлення: мін. 8,0 В постійного струму, типова 10,0 В постійного струму, макс. 15,0 В постійного струму.
Тиск у системі: 150 фунтів на квадратний дюйм
Споживана потужність: макс. 60 мВт.
Робоча температура: -25 - 85°C
Сумісність із середовищем: тільки сухий газ
Удар: макс. 10 g (5 ударів у 6 напрямках осей)