Датчик расхода, усиленный, 0 - 1 сл/мин

Микромостовой расходомер воздуха работает по принципу теплопередачи. Воздушная масса направляется над поверхностью измерительных элементов. Выходное напряжение изменяется пропорционально воздушной массе или потоку других газов через входные и выходные отверстия корпуса. Специально разработанный корпус направляет воздушный поток над микроструктурным сенсорным элементом. Механическая конструкция корпуса обеспечивает простой монтаж на печатные платы.
Микромостовой расходомер воздуха имеет уникальный кремниевый чип с высокоразвитой микроструктурной технологией. Он оснащен теплоизолированной тонкопленочной мостовой структурой, состоящей из нагревателя и элементов измерения температуры. Мостовая структура обеспечивает чувствительную и быструю реакцию на воздушные потоки и другие потоки на чипе. Два измерительных элемента, расположенные по обе стороны от центрального нагревательного элемента, указывают направление потока, а также его расход. Сопоставленные лазером толстопленочные и тонкопленочные резисторы обеспечивают взаимозаменяемость от одного устройства к другому.
Микромостовой расходомер воздуха имеет термочувствительные резисторы, расположенные в тонком слое нитрида кремния. Они размещены в виде двух мостиков над вытравленной полостью в кремнии. Чип расположен в точно рассчитанном канале для воздушного потока, что обеспечивает повторяемость показаний расхода воздуха. Высокоэффективная теплоизоляция нагревательных и сенсорных резисторов достигается за счет травления полости под измерительными мостиками расходомера воздуха. Малые размеры и теплоизоляция микромостового расходомера воздуха обеспечивают чрезвычайно быстрое реагирование и высокую чувствительность к потокам.
Измерение расхода воздуха осуществляется с помощью двух мостов Уитстона: один обеспечивает замкнутую схему управления нагревом, а другой содержит два сенсорных элемента. Схема управления нагревом минимизирует переключения, вызванные изменениями температуры окружающей среды, поскольку один из выходов пропорционален массовому расходу. Схема нагрева поддерживает постоянную температуру нагрева (160 °C) выше температуры окружающей среды, которая определяется терморезистором на микросхеме. Ратиометрическое выходное напряжение устройства соответствует дифференциальному напряжению в схеме моста Уитстона.
Микромостовые расходомеры воздуха серии AWM не предназначены для обнаружения потоков жидкости и будут повреждены жидкостью, протекающей через датчик.

- Точная микрообработка кремния
- Чувствителен к низким потокам воздуха - от 0,1 ст.см3/мин до 20 ст. л./мин
- Регулируется для использования с более сильными воздушными потоками
- Быстрое время отклика
- Аналоговый выход
- Низкое энергопотребление
- Повторяемый ответ
- Возможность замены деталей, обработанных лазерной резкой.
- Точное и экономичное обнаружение воздушного потока
- Встроенные разъемы для печатных плат
- Стандартное расстояние между центрами крепежных отверстий: 2,54 мм (0,100 дюйма)
- Точное измерение низкого давления 0,001 - 4,0 дюйма водяного столба (0,003 - 10 мбар)

Технические данные:
Формирование сигнала: Усиленный
Диапазон расхода/давления: +1000 ст.см3/мин (1,0 ст. л./мин)
Выходное напряжение в точке калибровки: 5,0 В постоянного тока ±0,15 В постоянного тока при скорости потока 1000 ст.см3/мин (1,0 ст. л./мин).
Тип соединения: Собирательная трубка
Нулевое смещение для температурных изменений: ±0,025 В постоянного тока
Смещение выходного сигнала при изменении температуры: от -5% до 6% от измеренного значения.
Изменение расхода: 5,0 л/мин/с
Повторяемость: ±0,50% от диапазона измерений.
Смещение нуля: от 1 В постоянного тока до 0,05 В постоянного тока
Время отклика: 1 мс (типичное) / 3 мс (максимальное).
Напряжение питания: 8,0 В постоянного тока (мин.), 10,0 В постоянного тока (типичное значение), 15,0 В постоянного тока (макс.).
Системное давление: 150 psi
Потребляемая мощность: 60 мВт макс.
Рабочая температура: -25 - 85°C
Совместимость со средой: только сухой газ
Ударная нагрузка: макс. 10 g (5 ударов по 6 осям)